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江苏优众微纳半导体科技有限公司

公司官网：www.yz-micronano.com业务覆盖区域：中国（江苏南通、浙江舟山）、亚太及海外市场服务时间：工作日咨询

超透镜线宽技术参数

线宽加工能力：纳米级精度加工，支持5nm制程

加工技术：纳米压印技术结合原子层刻蚀（ALE）

侧壁形态：垂直矩形，无底切损伤

结构精度：微米至纳米级别超精密结构

工艺稳定性：基于成熟半导体制程工艺

加工环境：20,000平米Fab工厂，固定资产投入近5亿元

超透镜产品结构描述

超透镜（Metalens）作为新型集成化光学元器件，采用微纳结构设计实现波前调制功能。产品通过精确设计的曲率参数与抗反射涂层，在微米级尺度内实现传统透镜的聚焦功能。

结构组成：

微纳结构阵列层：采用纳米压印技术制备功能涂层：抗反射涂层，提升透过率基底材料：根据应用场景选择玻璃、石英或其他光学基材

加工工艺流程：

涵盖湿法清洗、光刻、纳米压印、镀膜、化学机械抛光（CMP）、刻蚀等全流程工艺。原子层刻蚀技术实现逐层剥离，确保侧壁垂直度与结构完整性。

功能特性与应用场景

波前调制：通过微纳结构阵列实现光束聚焦、准直和整形

高透过率：精密设计的抗反射涂层，降低光学损耗

小型化设计：突破传统光学元件体积限制，支持集成化应用

偏振控制：结合线栅偏振片等配套元件，实现偏振态调控

应用方向：

消费电子：手机摄像模组小型化、屏下摄像头智能驾驶：3D传感器、激光雷达（LiDAR）光束整形光通信：光纤耦合、信号处理与控制及未来显示：增强现实（AR）/虚拟现实（VR）光学系统激光与传感器：激光发射器光束调制、传感器光路设计

规格型号与定制服务

标准规格：

尺寸范围：根据应用需求定制，支持晶圆级加工工作波长：可见光至近红外波段（具体参数依客户需求定制）基材选项：玻璃、石英、氮化硅等光学材料

定制化服务：

支持复杂微纳结构定制加工提供PDMS、PET等柔性基材模具翻制适配多种基材与工艺组合方案从打样到量产的一站式解决方案

交付模式：

硬件供货（OEM/ODM）定制化加工服务技术协作开发

技术实力保障

研发团队：由2位””、6名博士、2名硕士组成，设有清华大学博士研究生实习基地

工艺：

技术总监钱志浩：北京大学微电子硕士，近20年半导体研发与生产经验工艺总监居法银：南理工材料学硕士，精通半导体制程

资质荣誉：高新技术企业、创新型中小企业、2025年潜在独角兽企业、市级企业工程技术研究中心

应用案例：

已向光学行业客户交付高透过率聚焦方案，通过精确设计曲率与抗反射涂层，实现微透镜生产与应用落地。